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STK Foup存储系统

设备说明
FOUP Stocker 是半导体工厂的自动保管仓库，具备多层存放空间，主要用于半导体工厂的 FOUP 自动化搬送、存 储，实现晶圆在工艺之间的流转。
设备特点
  • 高密度存储管理
  • 小白点自学习型取放控制
  • 结构紧凑，轻量化设计
设备参数
产品范围 FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette
额定负载 Max20Kg
运动控制 X轴、Z轴、R轴、货叉伸缩轴
运动速度 X轴 120m/min，Z轴120m/min
货叉周期 2sec
洁净环境 Class 100 - Class 1000