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Tower Lift 楼层提升系统

设备说明

针对在半导体工程中有层间或段差区域, 把FOUP上下运送的设备。

设备特点

双工位输送系统
高速输送
楼层间快速转接

设备参数

产品范围	FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette
额定负载	Max20Kg
运行速度	Max250m/min
输送高度	Max40m
洁净环境	Class 100 - Class 1000